Feuchtmessung in Reinstgasen

Die kontinuierliche Steigerung von Produktionseffizienz und Wirkungsgrad  von Photovoltaikzellen stellt immer höhere Anforderungen an die Qualität der eingesetzten Reinstmedien im Fertigungsprozess. Insbesondere spielt die Reinheit der Prozessgase eine herausragende Rolle. Ein sehr kritischer und zu kontrollierender Parameter ist dabei die Restfeuchte dieser Reinstgase. Dementsprechend müssen kleinste Feuchtekonzentrationen der spezifizierten Prozessgasqualität frühzeitig erfasst werden.

 
PMT bietet dazu eine Gerätefamilie von Restfeuchte-Analysatoren für eine Vielzahl von Prozessgasen an. Die patentierte QCM-Technologie (Quartz-Crystal-Microbalance) liefert neben einer beispiellosen Mess- Performance und -Stabilität eine hohe Bedienerfreundlichkeit für den Anwender. Beginnend bei einer Empfindlichkeit von 150 ppt deckt die Gerätereihe ein großes Spektrum von Feuchtekonzentrationen ab.